是运用四探针测量原理 的多用途综合测量装置。它可以测量片状、快状半导体材料径向和轴向电阻率，测量片状半导体材料的电阻率和扩散层的薄层电阻（方块电阻），换上特制的四探针测试夹，还可以对金属导体的低中值电阻进行测量。此外，探针经过特殊加工后，还可以测量薄膜材料电阻率。广泛适用于半导体材料、器件厂、高等院校化学物理系、科研单位，对半导体材料的电阻性能测试。
本仪器测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针，定位准确，游移率小，使用寿命长。

数字式四探针测试仪|SZT-1|
技术参数：
1． 测量范围：
电阻率：10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
电阻：10的-6次方 ~10的5 次方Ω
方块电阻：10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
导电类型鉴别：电阻率范围 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2． 可测半导体材料尺寸
直径：φ15~100 mm
长度：≤400mm
3． 测量方法：
轴向、断面均可
4． 显示方式：31/2,数显,极性、过载自动显示，小数点、单位自动显示。
5． 恒流源：
（1） 电流输出：直流电流0~100 mA连续可调。
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 误差：±0.5%读数±2个字
6.四探针测试探头
（1） 探针间距:1mm
（2） 材料:碳化钨.探针机械游移率:±1.0%