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DH-500JJC型多靶磁控溅射镀膜机DH500JJC生产厂家
DH-500JJC型多靶磁控溅射镀膜机DH500JJC生产厂家

产品型号: DH-500JJC

所属分类:电阻测量仪

产品时间:2016-08-25

简要描述:DH-500JJC型多靶磁控溅射镀膜机DH500JJC生产厂家该镀膜机主要用于科研实验,可制备纳米级和微米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、光学膜、金属膜、铁磁薄膜、半导体膜、介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。

详情介绍

DH-500JJC型多靶磁控溅射镀膜机DH500JJC生产厂家

该镀膜机主要用于科研实验,可制备纳米级和微米级的单层及多层功能膜-各种硬质膜、光学膜、金属膜、铁磁薄膜、半导体膜、介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。

  该镀膜机为前开门式设计,功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。真空室材料均采用优良材质SUS304 不锈钢材料制造,工艺规范、精致,保证了材料的成膜纯度。

  采用分子泵+直联机械泵机组,具有抽速快、无油、操作方便快捷、易于维护的特点。

   镀膜方式:可实现多靶共溅模式;

   磁控靶:圆柱/平面靶;

   进气系统:三路质量流量计;

   镀膜室体积:500mm*500mm*600mm;

   极限真空度:5X10-5 Pa,恢复真空:从大气抽至6.7X10-4 Pa (40分钟);

   真空抽气系统:机械泵与分子泵组成;

   真空测量系统:数显复合真空计;

   工作电源:直流电源500W;射频电源500W(13.56MHz);加热控温电源;

   工件烘烤温度:室温~800℃可控可调(PID控温);

   选配件:石英晶振测厚仪、冷却水机组等;

   供电电源:三相AC380V,50Hz。

  ◆ 特殊规格可定制。

 

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