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DH-500ZZS型箱式电子束蒸发镀膜机DH500ZZS使用说明书
DH-500ZZS型箱式电子束蒸发镀膜机DH500ZZS使用说明书

产品型号: DH-500ZZS

所属分类:频谱分析仪

产品时间:2016-08-25

简要描述:DH-500ZZS型箱式电子束蒸发镀膜机DH500ZZS使用说明书该镀膜机为前开门箱式电子束蒸发镀膜设备,该镀膜机功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。适用于制备导电薄膜,半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,高性能薄膜研究及新材料科学研究工作。

详情介绍

DH-500ZZS型箱式电子束蒸发镀膜机DH500ZZS使用说明书

该镀膜机为前开门箱式电子束蒸发镀膜设备,该镀膜机功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便。适用于制备导电薄膜,半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜,高性能薄膜研究及新材料科学研究工作。

  镀膜机的真空室材料均采用优良材质SUS304 不锈钢材料制造,工艺规范、精致,具有高真空度、高清洁度,可以保证材料的成膜纯度。

  采用大抽速的变频控制分子泵+直联机械泵机组,具有抽速快、无油、操作方便快捷、易于维护的特点。配备270°E型电子束蒸发源,电源稳定,控制精度高,带有高压自动灭弧复位装置,操做简便,性能可靠。

  适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究。

   镀膜室体积:500mmX500mmX600mm;

   极限真空度:6.7X10-5 Pa,恢复真空:从大气抽至6.7X0-4 Pa (40分钟);

   真空抽气系统:机械泵与分子泵组成;

   真空测量系统:数显复合真空计;

   蒸发源:电子束蒸发源:E型电子枪,功率0~6KW可调;电阻蒸发源:功率3kW/10V两组;

   工件烘烤温度:室温~350℃可控可调(PID控温);

   选配件:光学膜厚测量仪、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源、冷却水机组等;

   供电电源:三相AC380V,50Hz。

   特殊规格可定制。

DH-500ZZS型箱式电子束蒸发镀膜机DH500ZZS使用说明书

 LDZX-75KAS  LDZX-75KB  LDZX-50KAS  LDZX-50FB LDZX-50FA YA.ZD-20 YA.ZD-5 CH1006 TU-100C  DU-20  HHS-21-6 HH.S11-8  B-220 HH.S11-1



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